OpenSCADAWiki: Home Page En/Using/ Vacuum Proc Unit ...

Home | Каталог | Изменения | Комментарии | Пользователи | Регистрация | Вход  Пароль:  
 
Ukrainian (1 Кб) Українська?
Russian (1 Кб) Российский

Automated control system for vacuum process unit

Name: ACS of the vacuum process unit
Start: 05(may) 2011
Finish: 08(august) 2011
Location: Moscow
Customer: "Laboratory of vacuum technologies" (http://e-beam.ru), Vasily Grigoriev
Performers: Roman Savochenko, Maxim Lysenko
Description: The implementation of the template project of the vacuum process unit ACS with control of the plasma generation through the specified prescription.
Materials: page (restricted access)
Вакуумная установка (30 Кб)


Оглавление

Introduction

The object of automation is the "Vacuum process unit," produced by "Laboratory of vacuum technologies" (http://e-beam.ru). Automation of the unit is made by the programmable logic controller (PLC). Operational control is made by the panel computer with the screen (1600x900).

1. Work

The scope of work includes the following tasks:
+ Development of the main mnemonic scheme of the unit and technological process control.
+ Forming groups of graphs for main technological parameters.

+ Separate choice of the session: the program's name and time of the program.

+ Formation of the instant values of the parameters, the operator's actions and alarms report.

+ To rewrite the document of instant values for generation time made optimal.

+ The implementation of the values of the parameters export from the graphics and the report of the instant values to the CSV format.
+ Implementation of the editing and execution frames of the prescriptions (user's programs)

+ Confirmation of removal the program to prevent accidental operation.
+ Copy (duplication) of the program.
+ Validation of input argument values when editing. By indicating in the PrescrComs table parameters' names in the following format: ParameterName|min|max.
+ To save the program in the context of the execution only at startup, or periodically update the selection until is not executed.
+ To add the selection of prescription-program session in the data table.
+ Moving the execution of prescription-program of the user to the DAQ.JavaLikeCalc.
+ Saving the last prescription session execution duration and display it in the execution of the current one, it must be taken from the history of sessions.

+ Remote adjustment.
+ Generic project's parts separating to different DB for make simple to mass update several machineries (0.5).
+ Additions to primitive "Document", archive mode, massively working with DB instead the archives storing into attributes of widget (1).
+ Complex report forming for prescriptions-programs execution (1).
+ Month selection appending, for user's programs executions report scanning for programs and sessions list, for exclude long processing for long protocols, but use all archive space (0.2+0.3).
+ New mnemo of second machine of vacuum unit (3).
+ OpenSCADA building for PLC SMH2Gi (2).
+ The prescription's command return is set to string "1:Message", where 1 — return code, and "Message" — optional the command message, which places to the protocol instead of the list and the argument's values (0.1).
+ To add temporary variables (tmp1-10) for call into prescription command (0.1).
+ To add the command for step force moving (0.2).
+ The multiple sessions call problem resolving in the document archiving context (0.1+0.5)
+ The protocol SCU-750 realization (2)


Remarks:
* There is no any reaction to the selection of gas on the mnemonic scheme (the limits of set/display of the flow are not changed).

+ The change of the top scale during the selection of gas is added and verified.

* Step of the pressure changing by means of "arrows" is completely indigestible (0.9 and 0.09), and when it will be working the selection of gas, the step will be different for different channels. It should be fixed 1 and 0.1, for example.

+ The "prec" attribute is added, and its value is set to 1, which provides step modification of 0.1 and 1.

* I found how to display data for a particular process in the graphics, but I have to move forward in time for it (the process is behind the right edge of the graphic).

+ Fixed.

* Data over ~ 80 seconds are not displayed in the he table of values ​​accumulated values. (it says "error" in cells).
* OpenSCADA crash during multiple connection to the session.

+ Probably fixed. It is necessary to download the revised building.

2. Материалы

2.1. Контакты

Григорьев Василий Юрьевич: ebeam@e-beam.ru

2.2. Параметры установок

2.2.1 Параметры установки 1

Шифр Описание Связи ModBus
Простые дискретные датчики
SI1 Есть проток в камере CI:0x1F:r
SI2 Главный контактор: Включено силовое питание CI:0x0B:r
SI3 Реле контроля фаз CI:0x0C:r
SI4 Потеря связи с вакууметрами CI:0x20:r
SI5 Потеря связи с генераторами CI:0x21:r
SI6 Потеря связи с РРГ CI:0x22:r
SI7 Есть проток в диффузионном насосе CI:0x1E:r
SI12 Колпак опущен CI:0x34:r
Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac)
VP1 Затвор камеры Команда "Открыть": R_b0:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x09:r
Состояние "Закрыт": CI:0x0A:r
Признак команды "Открыть": CI:0x12:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x18:r
VP2 Клапан форвакуумный Команда "Открыть": R_b3:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x01:r
Состояние "Закрыт": CI:0x02:r
Признак команды "Открыть": CI:0x15:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1B:r
VP3 Клапан напуска атмосферы в форлинию Состояние "Открыт": CI:0x03:r
Состояние "Закрыт": CI:0x04:r
VP4 Байпасный клапан Команда "Открыть": R_b4:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x05:r
Состояние "Закрыт": CI:0x06:r
Признак команды "Открыть": CI:0x16:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1C:r
VP5 Клапан напуска атмосферы в камеру Команда "Открыть": R_b2:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x07:r
Состояние "Закрыт": CI:0x08:r
Признак команды "Открыть": CI:0x14:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1A:r
VP6 Отсечной клапан потока газа 1 Команда "Открыть": R_b6:0xA400:r
VP7 Отсечной клапан потока газа 2 Команда "Открыть": R_b7:0xA400:r
VP8 Отсечной клапан потока газа 3 Команда "Открыть": R_b8:0xA400:r
VP9 Отсечной клапан потока газа 4 Команда "Открыть": R_b9:0xA400:r
ND Диффузионный насос Команда "Включить": R_b1:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x11:r
Состояние "Выключен": CI:0x37:r
Признак команды "Включить": CI:0x13:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x19:r
NZ Насос двухроторный Рутса Команда "Включить": R_b5:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x2B:r
Признак команды "Включить": CI:0x2C:r
NI Насос механический Команда "Включить": R_b5:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x35:r
Признак команды "Включить": CI:0x17:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x1D:r
S8 Внешнее управление ВС
1 — внешнее управление по сети.
0 — управление с панеле контроллера, команды игнорируются
C:0x3C00:rw
S9 Дист. управление.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ в режим управления от АСУ
C:0x3C01:rw
S10 Дист. установка.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ на получение уставки от АСУ
C:0x3C02:rw
S11 Включить G (источник питания катушек) C:0x3C09:rw
Управляющие краны-заслонки с положением, регуляторы расхода
VF Заслонка вакуумная (0...100%) Положение: RI:0xA01B:r
Задание: R:0xA40B:rw
VF1 Канал газонапуска потока газа 1 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA008:r
Sp: R_f:0xA401:rw
VF2 Канал газонапуска потока газа 2 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00A:r
Sp: R_f:0xA403:rw
VF3 Канал газонапуска потока газа 3 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00C:r
Sp: R_f:0xA405:rw
VF4 Канал газонапуска потока газа 4 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00E:r
Sp: R_f:0xA407:rw
Аналоговые датчики
T1 Температура диффузионного насоса (0...200°С) RI_f:0xA010:r
T2 Темп. воды во внешнем контуре (0..30 ºС) RI:0xA019:r
T3 Темп. воды во внутр. контуре (0..90 ºС) RI:0xA01A:r
VP Напряжение смещения RI:0xA016:r
Комплексное оборудование
ГВЧ1 Генератор плазмы Команда "Накал": C:0x3C03:rw
Команда "Анод": C:0x3C04:rw
Команда "Сброс": C:0x3C08:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x23:r
Состояние "Готов": CI:0x30:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x31:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x24:r
Состояние "Анод включен": CI:0x25:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x26:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA014:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA015:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA409:rw
ГВЧ2 Стол высокочастотный Команда "Накал": C:0x3C05:rw
Команда "Анод": C:0x3C06:rw
Команда "Сброс": C:0x3C07:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x27:r
Состояние "Готов": CI:0x32:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x33:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x28:r
Состояние "Анод включен": CI:0x29:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x2A:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA012:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA013:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA40A:rw
PT1 Давление в линии. (0.1 ... 9.9e5 ПА) P: RI_f:0xA006:r
Атмосфера линия: CI:0x2D:r
Форвакуум в линии: CI:0x0D:r
PT2 Давление на хвосте. (0.1 ... 9.9e5 ПА) P: RI_f:0xA004:r
Атмосфера на хвосте: CI:0x2F:r
Форвакуум на хвосте: CI:0x0E:r
PT3 Давление в камере. P (0.1 ... 9.9e5 ПА): RI_f:0xA002:r
PM (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r
Атмосфера в камере: CI:0x2E:r
Форвакуум в камере: CI:0x0F:r
Вакуум в камере: CI:0x10:r

2.2.2 Параметры установки 2

Шифр Описание Связи ModBus
Простые дискретные датчики
SI1 РПЖ1 CI:0x1e:r
SI2 Главный контактор: Включено силовое питание CI:0x0B:r
SI3 Реле контроля фаз CI:0x0C:r
SI4 Потеря связи с вакууметрами CI:0x20:r
SI5 Потеря связи с генераторами CI:0x21:r
SI6 Потеря связи с РРГ CI:0x22:r
SI7 РПЖ2 CI:0x1f:r
SI12 Колпак опущен CI:0x34:r
Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac)
VP1 Затвор камеры Команда "Открыть": R_b0:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x09:r
Состояние "Закрыт": CI:0x0A:r
Признак команды "Открыть": CI:0x12:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x18:r
VP2 Клапан форвакуумный Команда "Открыть": R_b3:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x01:r
Состояние "Закрыт": CI:0x02:r
Признак команды "Открыть": CI:0x15:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1B:r
VP3 Клапан напуска атмосферы в форлинию Состояние "Открыт": CI:0x03:r
Состояние "Закрыт": CI:0x04:r
VP4 Байпасный клапан Команда "Открыть": R_b4:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x05:r
Состояние "Закрыт": CI:0x06:r
Признак команды "Открыть": CI:0x16:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1C:r
VP5 Клапан напуска атмосферы в камеру Команда "Открыть": R_b2:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x07:r
Состояние "Закрыт": CI:0x08:r
Признак команды "Открыть": CI:0x14:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1A:r
VP6 Отсечной клапан потока газа 1 Команда "Открыть": R_b6:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3c:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x38:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP7 Отсечной клапан потока газа 2 Команда "Открыть": R_b7:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3d:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x39:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP8 Отсечной клапан потока газа 3 Команда "Открыть": R_b8:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3e:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x3a:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP9 Отсечной клапан потока газа 4 Команда "Открыть": R_b9:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3f:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x3b:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP10 Клапан магистрали Команда "Открыть": R_b10:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x46:r
Состояние "Закрыт": CI:0x43:r
Признак команды "Открыть": CI:0x42:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x41:r
VP11 Затвор камеры Команда "Открыть": R_b10:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x44:r
Состояние "Закрыт": CI:0x45:r
ND Диффузионный насос Команда "Включить": R_b1:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x11:r
Состояние "Выключен": CI:0x37:r
Признак команды "Включить": CI:0x13:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x19:r
NZ Насос двухроторный Рутса Команда "Включить": R_b5:0xA400:rw
Состояние "Включен": CI:0x2B:r
Признак команды "Включить": CI:0x2C:r
NI Насос механический Команда "Включить": R_b5:0xA400:rw
Состояние "Включен": CI:0x35:r
Признак команды "Включить": CI:0x17:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x1D:r
S8 Внешнее управление ВС
1 — внешнее управление по сети.
0 — управление с панеле контроллера, команды игнорируются
C:0x3C00:rw
S9 Дист. управление.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ в режим управления от АСУ
C:0x3C01:rw
S10 Дист. установка.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ на получение уставки от АСУ
C:0x3C02:rw
S11 Включить G (источник питания катушек) C:0x3C09:rw
Управляющие краны-заслонки с положением, регуляторы расхода
VF Заслонка вакуумная (0...100%) Положение: RI:0xA01B:r
Задание: R:0xA40B:rw
VF1 Канал газонапуска потока газа 1 (0...2.97л/ч) F: RI_f:0xA008:r
Sp: R_f:0xA401:rw
VF2 Канал газонапуска потока газа 2 (0...72л/ч) F: RI_f:0xA00A:r
Sp: R_f:0xA403:rw
VF3 Канал газонапуска потока газа 3 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00C:r
Sp: R_f:0xA405:rw
VF4 Канал газонапуска потока газа 4 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00E:r
Sp: R_f:0xA407:rw
Аналоговые датчики
T1 Температура диффузионного насоса (0...200°С) RI_f:0xA010:r
T2 Темп. воды диф. насоса (0..1000 ºС) RI:0xA019:r
T3 Темп. воды во внутр. контуре (0..1000 ºС) RI:0xA01A:r
VP Напряжение смещения (-100..2000 В) RI:0xA016:r
Комплексное оборудование
ГВЧ1 Генератор плазмы Команда "Накал": C:0x3C03:rw
Команда "Анод": C:0x3C04:rw
Команда "Сброс": C:0x3C08:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x23:r
Состояние "Готов": CI:0x30:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x31:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x24:r
Состояние "Анод включен": CI:0x25:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x26:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA014:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA015:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA409:rw
ГВЧ2 Стол высокочастотный Команда "Накал": C:0x3C05:rw
Команда "Анод": C:0x3C06:rw
Команда "Сброс": C:0x3C07:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x27:r
Состояние "Готов": CI:0x32:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x33:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x28:r
Состояние "Анод включен": CI:0x29:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x2A:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA012:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA013:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA40A:rw
ГВЧ3 Стол высокочастотный Команды
PT1 Давление в линии. (0.1 ... 1e5 ПА) P: RI_f:0xA006:r
Атмосфера линия: CI:0x2D:r
Форвакуум в линии: CI:0x0D:r
PT2 Давление на хвосте. (0.1 ... 1e5 ПА) P: RI_f:0xA004:r
Атмосфера на хвосте: CI:0x2F:r
Форвакуум на хвосте: CI:0x0E:r
PT3 Давление в камере. P (0.1 ... 1e5 ПА): RI_f:0xA002:r
PM (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r
Атмосфера в камере: CI:0x2E:r
Форвакуум в камере: CI:0x0F:r
Вакуум в камере: CI:0x10:r
PM Давление в камере. P (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r
Атмосфера в камере: CI:0x2A:r
Форвакуум в камере: CI:0x0F:r
Вакуум в камере: CI:0x10:r

Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac), VP1...5

КомандаОбратная связь от контроллераПримечание
VP открытьоткрыть VPVP открытVP закрыт
100 1Оператор выдал команду на открытие клапана, но клапан заблокирован в закрытом состоянии
1 1 0 1 Клапан на переходе в открытое состояние
1 1 0 0
1 1 1 0 Клапан открыт
1 0 1 0 Клапан на переходе в закрытое состояние по условиям блокировки
1 0 0 0
0 1 1 0 Оператор выдал команду на закрытие клапана, но клапан заблокирован в открытом состоянии
0 0 1 0 Клапан на переходе в закрытое состояние
0 0 0 0
0 0 0 1 Клапан закрыт


Блок ГВЧ1,2 (gvch)

Команда Обратная связь от контроллера Примечание
Накал включить Анод включить Накал Готов Заблокирован Сетка Анод Перегрузка
0 0 0 0 0/1 0 0 0 Генератор выключен
1 0 0 0 0/1 0 0 0 Включение накала. Если >3 с → авария накала
1 0 1 0 0/1 0 0 0 Прогрев (180 с)
1 0 1 1 1 0 0 0 Готов к работе. Заблокирован.
1 0 1 1 0 0 0 0 Готов к работе
1 1 1 0 1 0 0 0 Недопустимая команда (игнорируется контроллером)
1 1 0 0 0/1 0 0 0
0 1 0 0 0/1 0 0 0
1 1 1 1 1 0 0 0
1 1 1 1 0 0 0 0 Включение анода. Если >2 с → авария блока питания
1 1 1 1 0 1 0 0 Если >2 c → авария анода
1 1 1 1 0 0 1 0 Если >2 c → авария сетки
1 1 1 1 0 1 1 0 Включён
1 1 1 1 0 0 0 1 Перегрузка. Автоматически отключён и заблокирован. Команда «Анод включить» должна быть отменена, после этого выдана команда Сброс. Генератор перейдёт в режим «Готов к работе»


1. Уставка может быть задана и изменена в любом состоянии ГВЧ
2. Если Pпад<0.9 Pуст — Pпад выделяется красным цветом. Если Pпад<0.75 Pуст — Pпад выделяется мигающим красным цветом. В иных случаях не выделяется.
3. Если Pотр>0,1 Pпад — Pотр выделяется красным цветом
4. Если Pотр>0,05 Pпад — Pотр выделяется жёлтым цветом
5. Если Pотр<0,05 Pпад — Pотр выделяется зелёным цветом
6. При аварии накала команда на включение накала отменяется. Выводится сообщение.
7. При аварии анода или сетки команда на включение анода отменяется. Выводится сообщение.

2.3. Мнемосхемы графического интерфейса

Главная мнемосхема (79 Кб)
Рис. 2.3.1. Главная мнемосхема

График давления в камере, логарифмическая шкала. (17 Кб)
Рис. 2.3.2. График давления в камере, логарифмическая шкала.

Таблица мгновенных значений основных параметров. (88 Кб)
Рис. 2.3.3. Таблица мгновенных значений основных параметров.

2.4. БД проекта

БД проекта представлена в виде файлов БД SQLite, панель оператора:


Архив файлов БД проекта можно загрузить здесь: file:vacuumunit.tlz

2.5. Оплата работы

Объём и трудоёмкость (чел.дни) работы:


Оплата работы:


Удалённое подключение:

Links

Страницы, ссылающиеся на данную: HomePageEn/Using/PLC/firmwareARM
HomePageEn/Using/VacuumProcUnit


 
Файлов нет.[Показать файлы/форму]
Комментариев нет. [Показать комментарии/форму]