OpenSCADAWiki: Using/Vacuum Proc Unit/matrials ...

Home | Каталог | Изменения | Комментарии | Пользователи | Регистрация | Вход  Пароль:  
 

2. Материалы

2.1. Контакты

Григорьев Василий Юрьевич: ebeam@e-beam.ru

2.2. Параметры установок

2.2.1 Параметры установки 1

Шифр Описание Связи ModBus
Простые дискретные датчики
SI1 Есть проток в камере CI:0x1F:r
SI2 Главный контактор: Включено силовое питание CI:0x0B:r
SI3 Реле контроля фаз CI:0x0C:r
SI4 Потеря связи с вакууметрами CI:0x20:r
SI5 Потеря связи с генераторами CI:0x21:r
SI6 Потеря связи с РРГ CI:0x22:r
SI7 Есть проток в диффузионном насосе CI:0x1E:r
SI12 Колпак опущен CI:0x34:r
Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac)
VP1 Затвор камеры Команда "Открыть": R_b0:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x09:r
Состояние "Закрыт": CI:0x0A:r
Признак команды "Открыть": CI:0x12:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x18:r
VP2 Клапан форвакуумный Команда "Открыть": R_b3:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x01:r
Состояние "Закрыт": CI:0x02:r
Признак команды "Открыть": CI:0x15:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1B:r
VP3 Клапан напуска атмосферы в форлинию Состояние "Открыт": CI:0x03:r
Состояние "Закрыт": CI:0x04:r
VP4 Байпасный клапан Команда "Открыть": R_b4:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x05:r
Состояние "Закрыт": CI:0x06:r
Признак команды "Открыть": CI:0x16:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1C:r
VP5 Клапан напуска атмосферы в камеру Команда "Открыть": R_b2:0xA400:r
Состояние "Открыт": CI:0x07:r
Состояние "Закрыт": CI:0x08:r
Признак команды "Открыть": CI:0x14:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1A:r
VP6 Отсечной клапан потока газа 1 Команда "Открыть": R_b6:0xA400:r
VP7 Отсечной клапан потока газа 2 Команда "Открыть": R_b7:0xA400:r
VP8 Отсечной клапан потока газа 3 Команда "Открыть": R_b8:0xA400:r
VP9 Отсечной клапан потока газа 4 Команда "Открыть": R_b9:0xA400:r
ND Диффузионный насос Команда "Включить": R_b1:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x11:r
Состояние "Выключен": CI:0x37:r
Признак команды "Включить": CI:0x13:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x19:r
NZ Насос двухроторный Рутса Команда "Включить": R_b5:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x2B:r
Признак команды "Включить": CI:0x2C:r
NI Насос механический Команда "Включить": R_b5:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x35:r
Признак команды "Включить": CI:0x17:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x1D:r
S8 Внешнее управление ВС
1 — внешнее управление по сети.
0 — управление с панеле контроллера, команды игнорируются
C:0x3C00:rw
S9 Дист. управление.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ в режим управления от АСУ
C:0x3C01:rw
S10 Дист. установка.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ на получение уставки от АСУ
C:0x3C02:rw
S11 Включить G (источник питания катушек) C:0x3C09:rw
Управляющие краны-заслонки с положением, регуляторы расхода
VF Заслонка вакуумная (0...100%) Положение: RI:0xA01B:r
Задание: R:0xA40B:rw
VF1 Канал газонапуска потока газа 1 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA008:r
Sp: R_f:0xA401:rw
VF2 Канал газонапуска потока газа 2 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00A:r
Sp: R_f:0xA403:rw
VF3 Канал газонапуска потока газа 3 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00C:r
Sp: R_f:0xA405:rw
VF4 Канал газонапуска потока газа 4 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00E:r
Sp: R_f:0xA407:rw
Аналоговые датчики
T1 Температура диффузионного насоса (0...200°С) RI_f:0xA010:r
T2 Темп. воды во внешнем контуре (0..30 ºС) RI:0xA019:r
T3 Темп. воды во внутр. контуре (0..90 ºС) RI:0xA01A:r
VP Напряжение смещения RI:0xA016:r
Комплексное оборудование
ГВЧ1 Генератор плазмы Команда "Накал": C:0x3C03:rw
Команда "Анод": C:0x3C04:rw
Команда "Сброс": C:0x3C08:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x23:r
Состояние "Готов": CI:0x30:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x31:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x24:r
Состояние "Анод включен": CI:0x25:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x26:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA014:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA015:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA409:rw
ГВЧ2 Стол высокочастотный Команда "Накал": C:0x3C05:rw
Команда "Анод": C:0x3C06:rw
Команда "Сброс": C:0x3C07:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x27:r
Состояние "Готов": CI:0x32:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x33:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x28:r
Состояние "Анод включен": CI:0x29:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x2A:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA012:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA013:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA40A:rw
PT1 Давление в линии. (0.1 ... 9.9e5 ПА) P: RI_f:0xA006:r
Атмосфера линия: CI:0x2D:r
Форвакуум в линии: CI:0x0D:r
PT2 Давление на хвосте. (0.1 ... 9.9e5 ПА) P: RI_f:0xA004:r
Атмосфера на хвосте: CI:0x2F:r
Форвакуум на хвосте: CI:0x0E:r
PT3 Давление в камере. P (0.1 ... 9.9e5 ПА): RI_f:0xA002:r
PM (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r
Атмосфера в камере: CI:0x2E:r
Форвакуум в камере: CI:0x0F:r
Вакуум в камере: CI:0x10:r

2.2.2 Параметры установки 2

Шифр Описание Связи ModBus
Простые дискретные датчики
SI1 РПЖ1 CI:0x1e:r
SI2 Главный контактор: Включено силовое питание CI:0x0B:r
SI3 Реле контроля фаз CI:0x0C:r
SI4 Потеря связи с вакууметрами CI:0x20:r
SI5 Потеря связи с генераторами CI:0x21:r
SI6 Потеря связи с РРГ CI:0x22:r
SI7 РПЖ2 CI:0x1f:r
SI12 Колпак опущен CI:0x34:r
Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac)
VP1 Затвор камеры Команда "Открыть": R_b0:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x09:r
Состояние "Закрыт": CI:0x0A:r
Признак команды "Открыть": CI:0x12:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x18:r
VP2 Клапан форвакуумный Команда "Открыть": R_b3:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x01:r
Состояние "Закрыт": CI:0x02:r
Признак команды "Открыть": CI:0x15:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1B:r
VP3 Клапан напуска атмосферы в форлинию Состояние "Открыт": CI:0x03:r
Состояние "Закрыт": CI:0x04:r
VP4 Байпасный клапан Команда "Открыть": R_b4:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x05:r
Состояние "Закрыт": CI:0x06:r
Признак команды "Открыть": CI:0x16:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1C:r
VP5 Клапан напуска атмосферы в камеру Команда "Открыть": R_b2:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x07:r
Состояние "Закрыт": CI:0x08:r
Признак команды "Открыть": CI:0x14:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1A:r
VP6 Отсечной клапан потока газа 1 Команда "Открыть": R_b6:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3c:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x38:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP7 Отсечной клапан потока газа 2 Команда "Открыть": R_b7:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3d:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x39:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP8 Отсечной клапан потока газа 3 Команда "Открыть": R_b8:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3e:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x3a:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP9 Отсечной клапан потока газа 4 Команда "Открыть": R_b9:0xA400:rw
Признак команды "Открыть": CI:0x3f:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x3b:r
Ошибка связи: CI:0x22:r
VP10 Клапан магистрали Команда "Открыть": R_b10:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x46:r
Состояние "Закрыт": CI:0x43:r
Признак команды "Открыть": CI:0x42:r
Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x41:r
VP11 Затвор камеры Команда "Открыть": R_b10:0xA400:rw
Состояние "Открыт": CI:0x44:r
Состояние "Закрыт": CI:0x45:r
ND Диффузионный насос Команда "Включить": R_b1:0xA400:r
Состояние "Включен": CI:0x11:r
Состояние "Выключен": CI:0x37:r
Признак команды "Включить": CI:0x13:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x19:r
NZ Насос двухроторный Рутса Команда "Включить": R_b5:0xA400:rw
Состояние "Включен": CI:0x2B:r
Признак команды "Включить": CI:0x2C:r
NI Насос механический Команда "Включить": R_b5:0xA400:rw
Состояние "Включен": CI:0x35:r
Признак команды "Включить": CI:0x17:r
Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x1D:r
S8 Внешнее управление ВС
1 — внешнее управление по сети.
0 — управление с панеле контроллера, команды игнорируются
C:0x3C00:rw
S9 Дист. управление.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ в режим управления от АСУ
C:0x3C01:rw
S10 Дист. установка.
Выставляется в 1 для перевода ГВЧ на получение уставки от АСУ
C:0x3C02:rw
S11 Включить G (источник питания катушек) C:0x3C09:rw
Управляющие краны-заслонки с положением, регуляторы расхода
VF Заслонка вакуумная (0...100%) Положение: RI:0xA01B:r
Задание: R:0xA40B:rw
VF1 Канал газонапуска потока газа 1 (0...2.97л/ч) F: RI_f:0xA008:r
Sp: R_f:0xA401:rw
VF2 Канал газонапуска потока газа 2 (0...72л/ч) F: RI_f:0xA00A:r
Sp: R_f:0xA403:rw
VF3 Канал газонапуска потока газа 3 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00C:r
Sp: R_f:0xA405:rw
VF4 Канал газонапуска потока газа 4 (0...9л/ч) F: RI_f:0xA00E:r
Sp: R_f:0xA407:rw
Аналоговые датчики
T1 Температура диффузионного насоса (0...200°С) RI_f:0xA010:r
T2 Темп. воды диф. насоса (0..1000 ºС) RI:0xA019:r
T3 Темп. воды во внутр. контуре (0..1000 ºС) RI:0xA01A:r
VP Напряжение смещения (-100..2000 В) RI:0xA016:r
Комплексное оборудование
ГВЧ1 Генератор плазмы Команда "Накал": C:0x3C03:rw
Команда "Анод": C:0x3C04:rw
Команда "Сброс": C:0x3C08:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x23:r
Состояние "Готов": CI:0x30:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x31:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x24:r
Состояние "Анод включен": CI:0x25:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x26:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA014:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA015:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA409:rw
ГВЧ2 Стол высокочастотный Команда "Накал": C:0x3C05:rw
Команда "Анод": C:0x3C06:rw
Команда "Сброс": C:0x3C07:rw
Состояние "Накал включен": CI:0x27:r
Состояние "Готов": CI:0x32:r
Состояние "Заблокирован": CI:0x33:r
Состояние "Cетка включена": CI:0x28:r
Состояние "Анод включен": CI:0x29:r
Состояние "Перегрузка": CI:0x2A:r
P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA012:r
P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA013:r
P, задание (0..1000 Вт): R:0xA40A:rw
ГВЧ3 Стол высокочастотный Команды
PT1 Давление в линии. (0.1 ... 1e5 ПА) P: RI_f:0xA006:r
Атмосфера линия: CI:0x2D:r
Форвакуум в линии: CI:0x0D:r
PT2 Давление на хвосте. (0.1 ... 1e5 ПА) P: RI_f:0xA004:r
Атмосфера на хвосте: CI:0x2F:r
Форвакуум на хвосте: CI:0x0E:r
PT3 Давление в камере. P (0.1 ... 1e5 ПА): RI_f:0xA002:r
PM (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r
Атмосфера в камере: CI:0x2E:r
Форвакуум в камере: CI:0x0F:r
Вакуум в камере: CI:0x10:r
PM Давление в камере. P (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r
Атмосфера в камере: CI:0x2A:r
Форвакуум в камере: CI:0x0F:r
Вакуум в камере: CI:0x10:r

Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac), VP1...5

КомандаОбратная связь от контроллераПримечание
VP открытьоткрыть VPVP открытVP закрыт
100 1Оператор выдал команду на открытие клапана, но клапан заблокирован в закрытом состоянии
1 1 0 1 Клапан на переходе в открытое состояние
1 1 0 0
1 1 1 0 Клапан открыт
1 0 1 0 Клапан на переходе в закрытое состояние по условиям блокировки
1 0 0 0
0 1 1 0 Оператор выдал команду на закрытие клапана, но клапан заблокирован в открытом состоянии
0 0 1 0 Клапан на переходе в закрытое состояние
0 0 0 0
0 0 0 1 Клапан закрыт


Блок ГВЧ1,2 (gvch)

Команда Обратная связь от контроллера Примечание
Накал включить Анод включить Накал Готов Заблокирован Сетка Анод Перегрузка
0 0 0 0 0/1 0 0 0 Генератор выключен
1 0 0 0 0/1 0 0 0 Включение накала. Если >3 с → авария накала
1 0 1 0 0/1 0 0 0 Прогрев (180 с)
1 0 1 1 1 0 0 0 Готов к работе. Заблокирован.
1 0 1 1 0 0 0 0 Готов к работе
1 1 1 0 1 0 0 0 Недопустимая команда (игнорируется контроллером)
1 1 0 0 0/1 0 0 0
0 1 0 0 0/1 0 0 0
1 1 1 1 1 0 0 0
1 1 1 1 0 0 0 0 Включение анода. Если >2 с → авария блока питания
1 1 1 1 0 1 0 0 Если >2 c → авария анода
1 1 1 1 0 0 1 0 Если >2 c → авария сетки
1 1 1 1 0 1 1 0 Включён
1 1 1 1 0 0 0 1 Перегрузка. Автоматически отключён и заблокирован. Команда «Анод включить» должна быть отменена, после этого выдана команда Сброс. Генератор перейдёт в режим «Готов к работе»


1. Уставка может быть задана и изменена в любом состоянии ГВЧ
2. Если Pпад<0.9 Pуст — Pпад выделяется красным цветом. Если Pпад<0.75 Pуст — Pпад выделяется мигающим красным цветом. В иных случаях не выделяется.
3. Если Pотр>0,1 Pпад — Pотр выделяется красным цветом
4. Если Pотр>0,05 Pпад — Pотр выделяется жёлтым цветом
5. Если Pотр<0,05 Pпад — Pотр выделяется зелёным цветом
6. При аварии накала команда на включение накала отменяется. Выводится сообщение.
7. При аварии анода или сетки команда на включение анода отменяется. Выводится сообщение.

2.3. Мнемосхемы графического интерфейса

Главная мнемосхема (79 Кб)
Рис. 2.3.1. Главная мнемосхема

График давления в камере, логарифмическая шкала. (17 Кб)
Рис. 2.3.2. График давления в камере, логарифмическая шкала.

Таблица мгновенных значений основных параметров. (88 Кб)
Рис. 2.3.3. Таблица мгновенных значений основных параметров.

2.4. БД проекта

БД проекта представлена в виде файлов БД SQLite, панель оператора:


Архив файлов БД проекта можно загрузить здесь: file:vacuumunit.tlz

2.5. Оплата работы

Объём и трудоёмкость (чел.дни) работы:


Оплата работы:


Удалённое подключение:


 
Много файлов (7).[Показать файлы/форму]
Комментариев нет. [Показать комментарии/форму]