2. Материалы
2.1. Контакты
Григорьев Василий Юрьевич: 
ebeam@e-beam.ru
2.2. Параметры установок
2.2.1 Параметры установки 1
| Шифр | Описание | Связи ModBus |
| Простые дискретные датчики | ||
| SI1 | Есть проток в камере | CI:0x1F:r |
| SI2 | Главный контактор: Включено силовое питание | CI:0x0B:r |
| SI3 | Реле контроля фаз | CI:0x0C:r |
| SI4 | Потеря связи с вакууметрами | CI:0x20:r |
| SI5 | Потеря связи с генераторами | CI:0x21:r |
| SI6 | Потеря связи с РРГ | CI:0x22:r |
| SI7 | Есть проток в диффузионном насосе | CI:0x1E:r |
| SI12 | Колпак опущен | CI:0x34:r |
| Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac) | ||
| VP1 | Затвор камеры | Команда "Открыть": R_b0:0xA400:r Состояние "Открыт": CI:0x09:r Состояние "Закрыт": CI:0x0A:r Признак команды "Открыть": CI:0x12:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x18:r |
| VP2 | Клапан форвакуумный | Команда "Открыть": R_b3:0xA400:r Состояние "Открыт": CI:0x01:r Состояние "Закрыт": CI:0x02:r Признак команды "Открыть": CI:0x15:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1B:r |
| VP3 | Клапан напуска атмосферы в форлинию | Состояние "Открыт": CI:0x03:r Состояние "Закрыт": CI:0x04:r |
| VP4 | Байпасный клапан | Команда "Открыть": R_b4:0xA400:r Состояние "Открыт": CI:0x05:r Состояние "Закрыт": CI:0x06:r Признак команды "Открыть": CI:0x16:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1C:r |
| VP5 | Клапан напуска атмосферы в камеру | Команда "Открыть": R_b2:0xA400:r Состояние "Открыт": CI:0x07:r Состояние "Закрыт": CI:0x08:r Признак команды "Открыть": CI:0x14:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1A:r |
| VP6 | Отсечной клапан потока газа 1 | Команда "Открыть": R_b6:0xA400:r |
| VP7 | Отсечной клапан потока газа 2 | Команда "Открыть": R_b7:0xA400:r |
| VP8 | Отсечной клапан потока газа 3 | Команда "Открыть": R_b8:0xA400:r |
| VP9 | Отсечной клапан потока газа 4 | Команда "Открыть": R_b9:0xA400:r |
| ND | Диффузионный насос | Команда "Включить": R_b1:0xA400:r Состояние "Включен": CI:0x11:r Состояние "Выключен": CI:0x37:r Признак команды "Включить": CI:0x13:r Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x19:r |
| NZ | Насос двухроторный Рутса | Команда "Включить": R_b5:0xA400:r Состояние "Включен": CI:0x2B:r Признак команды "Включить": CI:0x2C:r |
| NI | Насос механический | Команда "Включить": R_b5:0xA400:r Состояние "Включен": CI:0x35:r Признак команды "Включить": CI:0x17:r Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x1D:r |
| S8 | Внешнее управление ВС 1 — внешнее управление по сети. 0 — управление с панеле контроллера, команды игнорируются | C:0x3C00:rw |
| S9 | Дист. управление. Выставляется в 1 для перевода ГВЧ в режим управления от АСУ | C:0x3C01:rw |
| S10 | Дист. установка. Выставляется в 1 для перевода ГВЧ на получение уставки от АСУ | C:0x3C02:rw |
| S11 | Включить G (источник питания катушек) | C:0x3C09:rw |
| Управляющие краны-заслонки с положением, регуляторы расхода | ||
| VF | Заслонка вакуумная (0...100%) | Положение: RI:0xA01B:r Задание: R:0xA40B:rw |
| VF1 | Канал газонапуска потока газа 1 (0...9л/ч) | F: RI_f:0xA008:r Sp: R_f:0xA401:rw |
| VF2 | Канал газонапуска потока газа 2 (0...9л/ч) | F: RI_f:0xA00A:r Sp: R_f:0xA403:rw |
| VF3 | Канал газонапуска потока газа 3 (0...9л/ч) | F: RI_f:0xA00C:r Sp: R_f:0xA405:rw |
| VF4 | Канал газонапуска потока газа 4 (0...9л/ч) | F: RI_f:0xA00E:r Sp: R_f:0xA407:rw |
| Аналоговые датчики | ||
| T1 | Температура диффузионного насоса (0...200°С) | RI_f:0xA010:r |
| T2 | Темп. воды во внешнем контуре (0..30 ºС) | RI:0xA019:r |
| T3 | Темп. воды во внутр. контуре (0..90 ºС) | RI:0xA01A:r |
| VP | Напряжение смещения | RI:0xA016:r |
| Комплексное оборудование | ||
| ГВЧ1 | Генератор плазмы | Команда "Накал": C:0x3C03:rw Команда "Анод": C:0x3C04:rw Команда "Сброс": C:0x3C08:rw Состояние "Накал включен": CI:0x23:r Состояние "Готов": CI:0x30:r Состояние "Заблокирован": CI:0x31:r Состояние "Cетка включена": CI:0x24:r Состояние "Анод включен": CI:0x25:r Состояние "Перегрузка": CI:0x26:r P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA014:r P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA015:r P, задание (0..1000 Вт): R:0xA409:rw |
| ГВЧ2 | Стол высокочастотный | Команда "Накал": C:0x3C05:rw Команда "Анод": C:0x3C06:rw Команда "Сброс": C:0x3C07:rw Состояние "Накал включен": CI:0x27:r Состояние "Готов": CI:0x32:r Состояние "Заблокирован": CI:0x33:r Состояние "Cетка включена": CI:0x28:r Состояние "Анод включен": CI:0x29:r Состояние "Перегрузка": CI:0x2A:r P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA012:r P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA013:r P, задание (0..1000 Вт): R:0xA40A:rw |
| PT1 | Давление в линии. (0.1 ... 9.9e5 ПА) | P: RI_f:0xA006:r Атмосфера линия: CI:0x2D:r Форвакуум в линии: CI:0x0D:r |
| PT2 | Давление на хвосте. (0.1 ... 9.9e5 ПА) | P: RI_f:0xA004:r Атмосфера на хвосте: CI:0x2F:r Форвакуум на хвосте: CI:0x0E:r |
| PT3 | Давление в камере. | P (0.1 ... 9.9e5 ПА): RI_f:0xA002:r PM (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r Атмосфера в камере: CI:0x2E:r Форвакуум в камере: CI:0x0F:r Вакуум в камере: CI:0x10:r |
2.2.2 Параметры установки 2
| Шифр | Описание | Связи ModBus |
| Простые дискретные датчики | ||
| SI1 | РПЖ1 | CI:0x1e:r |
| SI2 | Главный контактор: Включено силовое питание | CI:0x0B:r |
| SI3 | Реле контроля фаз | CI:0x0C:r |
| SI4 | Потеря связи с вакууметрами | CI:0x20:r |
| SI5 | Потеря связи с генераторами | CI:0x21:r |
| SI6 | Потеря связи с РРГ | CI:0x22:r |
| SI7 | РПЖ2 | CI:0x1f:r |
| SI12 | Колпак опущен | CI:0x34:r |
| Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac) | ||
| VP1 | Затвор камеры | Команда "Открыть": R_b0:0xA400:rw Состояние "Открыт": CI:0x09:r Состояние "Закрыт": CI:0x0A:r Признак команды "Открыть": CI:0x12:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x18:r |
| VP2 | Клапан форвакуумный | Команда "Открыть": R_b3:0xA400:rw Состояние "Открыт": CI:0x01:r Состояние "Закрыт": CI:0x02:r Признак команды "Открыть": CI:0x15:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1B:r |
| VP3 | Клапан напуска атмосферы в форлинию | Состояние "Открыт": CI:0x03:r Состояние "Закрыт": CI:0x04:r |
| VP4 | Байпасный клапан | Команда "Открыть": R_b4:0xA400:rw Состояние "Открыт": CI:0x05:r Состояние "Закрыт": CI:0x06:r Признак команды "Открыть": CI:0x16:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1C:r |
| VP5 | Клапан напуска атмосферы в камеру | Команда "Открыть": R_b2:0xA400:rw Состояние "Открыт": CI:0x07:r Состояние "Закрыт": CI:0x08:r Признак команды "Открыть": CI:0x14:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x1A:r |
| VP6 | Отсечной клапан потока газа 1 | Команда "Открыть": R_b6:0xA400:rw Признак команды "Открыть": CI:0x3c:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x38:r Ошибка связи: CI:0x22:r |
| VP7 | Отсечной клапан потока газа 2 | Команда "Открыть": R_b7:0xA400:rw Признак команды "Открыть": CI:0x3d:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x39:r Ошибка связи: CI:0x22:r |
| VP8 | Отсечной клапан потока газа 3 | Команда "Открыть": R_b8:0xA400:rw Признак команды "Открыть": CI:0x3e:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x3a:r Ошибка связи: CI:0x22:r |
| VP9 | Отсечной клапан потока газа 4 | Команда "Открыть": R_b9:0xA400:rw Признак команды "Открыть": CI:0x3f:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x3b:r Ошибка связи: CI:0x22:r |
| VP10 | Клапан магистрали | Команда "Открыть": R_b10:0xA400:rw Состояние "Открыт": CI:0x46:r Состояние "Закрыт": CI:0x43:r Признак команды "Открыть": CI:0x42:r Признак команды "Открыть" из контроллера: CI:0x41:r |
| VP11 | Затвор камеры | Команда "Открыть": R_b10:0xA400:rw Состояние "Открыт": CI:0x44:r Состояние "Закрыт": CI:0x45:r |
| ND | Диффузионный насос | Команда "Включить": R_b1:0xA400:r Состояние "Включен": CI:0x11:r Состояние "Выключен": CI:0x37:r Признак команды "Включить": CI:0x13:r Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x19:r |
| NZ | Насос двухроторный Рутса | Команда "Включить": R_b5:0xA400:rw Состояние "Включен": CI:0x2B:r Признак команды "Включить": CI:0x2C:r |
| NI | Насос механический | Команда "Включить": R_b5:0xA400:rw Состояние "Включен": CI:0x35:r Признак команды "Включить": CI:0x17:r Признак команды "Включить" из контроллера: CI:0x1D:r |
| S8 | Внешнее управление ВС 1 — внешнее управление по сети. 0 — управление с панеле контроллера, команды игнорируются | C:0x3C00:rw |
| S9 | Дист. управление. Выставляется в 1 для перевода ГВЧ в режим управления от АСУ | C:0x3C01:rw |
| S10 | Дист. установка. Выставляется в 1 для перевода ГВЧ на получение уставки от АСУ | C:0x3C02:rw |
| S11 | Включить G (источник питания катушек) | C:0x3C09:rw |
| Управляющие краны-заслонки с положением, регуляторы расхода | ||
| VF | Заслонка вакуумная (0...100%) | Положение: RI:0xA01B:r Задание: R:0xA40B:rw |
| VF1 | Канал газонапуска потока газа 1 (0...2.97л/ч) | F: RI_f:0xA008:r Sp: R_f:0xA401:rw |
| VF2 | Канал газонапуска потока газа 2 (0...72л/ч) | F: RI_f:0xA00A:r Sp: R_f:0xA403:rw |
| VF3 | Канал газонапуска потока газа 3 (0...9л/ч) | F: RI_f:0xA00C:r Sp: R_f:0xA405:rw |
| VF4 | Канал газонапуска потока газа 4 (0...9л/ч) | F: RI_f:0xA00E:r Sp: R_f:0xA407:rw |
| Аналоговые датчики | ||
| T1 | Температура диффузионного насоса (0...200°С) | RI_f:0xA010:r |
| T2 | Темп. воды диф. насоса (0..1000 ºС) | RI:0xA019:r |
| T3 | Темп. воды во внутр. контуре (0..1000 ºС) | RI:0xA01A:r |
| VP | Напряжение смещения (-100..2000 В) | RI:0xA016:r |
| Комплексное оборудование | ||
| ГВЧ1 | Генератор плазмы | Команда "Накал": C:0x3C03:rw Команда "Анод": C:0x3C04:rw Команда "Сброс": C:0x3C08:rw Состояние "Накал включен": CI:0x23:r Состояние "Готов": CI:0x30:r Состояние "Заблокирован": CI:0x31:r Состояние "Cетка включена": CI:0x24:r Состояние "Анод включен": CI:0x25:r Состояние "Перегрузка": CI:0x26:r P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA014:r P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA015:r P, задание (0..1000 Вт): R:0xA409:rw |
| ГВЧ2 | Стол высокочастотный | Команда "Накал": C:0x3C05:rw Команда "Анод": C:0x3C06:rw Команда "Сброс": C:0x3C07:rw Состояние "Накал включен": CI:0x27:r Состояние "Готов": CI:0x32:r Состояние "Заблокирован": CI:0x33:r Состояние "Cетка включена": CI:0x28:r Состояние "Анод включен": CI:0x29:r Состояние "Перегрузка": CI:0x2A:r P прямая (0..1000 Вт): RI:0xA012:r P отражённая (0..1000 Вт): RI:0xA013:r P, задание (0..1000 Вт): R:0xA40A:rw |
| ГВЧ3 | Стол высокочастотный | Команды |
| PT1 | Давление в линии. (0.1 ... 1e5 ПА) | P: RI_f:0xA006:r Атмосфера линия: CI:0x2D:r Форвакуум в линии: CI:0x0D:r |
| PT2 | Давление на хвосте. (0.1 ... 1e5 ПА) | P: RI_f:0xA004:r Атмосфера на хвосте: CI:0x2F:r Форвакуум на хвосте: CI:0x0E:r |
| PT3 | Давление в камере. | P (0.1 ... 1e5 ПА): RI_f:0xA002:r PM (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r Атмосфера в камере: CI:0x2E:r Форвакуум в камере: CI:0x0F:r Вакуум в камере: CI:0x10:r |
| PM | Давление в камере. | P (1E-7 ... 9E-1 Па): RI_f:0xA017:r Атмосфера в камере: CI:0x2A:r Форвакуум в камере: CI:0x0F:r Вакуум в камере: CI:0x10:r |
Блок дискретных сигналов вакуумных клапанов (digBlkVac), VP1...5
| Команда | Обратная связь от контроллера | Примечание | ||
|---|---|---|---|---|
| VP открыть | открыть VP | VP открыт | VP закрыт | |
| 1 | 0 | 0 | 1 | Оператор выдал команду на открытие клапана, но клапан заблокирован в закрытом состоянии |
| 1 | 1 | 0 | 1 | Клапан на переходе в открытое состояние |
| 1 | 1 | 0 | 0 | |
| 1 | 1 | 1 | 0 | Клапан открыт |
| 1 | 0 | 1 | 0 | Клапан на переходе в закрытое состояние по условиям блокировки |
| 1 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 1 | 1 | 0 | Оператор выдал команду на закрытие клапана, но клапан заблокирован в открытом состоянии |
| 0 | 0 | 1 | 0 | Клапан на переходе в закрытое состояние |
| 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 1 | Клапан закрыт |
Блок ГВЧ1,2 (gvch)
| Команда | Обратная связь от контроллера | Примечание | ||||||
| Накал включить | Анод включить | Накал | Готов | Заблокирован | Сетка | Анод | Перегрузка | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0/1 | 0 | 0 | 0 | Генератор выключен |
| 1 | 0 | 0 | 0 | 0/1 | 0 | 0 | 0 | Включение накала. Если >3 с → авария накала |
| 1 | 0 | 1 | 0 | 0/1 | 0 | 0 | 0 | Прогрев (180 с) |
| 1 | 0 | 1 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | Готов к работе. Заблокирован. |
| 1 | 0 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | Готов к работе |
| 1 | 1 | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | Недопустимая команда (игнорируется контроллером) |
| 1 | 1 | 0 | 0 | 0/1 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 1 | 0 | 0 | 0/1 | 0 | 0 | 0 | |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | Включение анода. Если >2 с → авария блока питания |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | Если >2 c → авария анода |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 0 | 0 | 1 | 0 | Если >2 c → авария сетки |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 0 | 1 | 1 | 0 | Включён |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | 1 | Перегрузка. Автоматически отключён и заблокирован. Команда «Анод включить» должна быть отменена, после этого выдана команда Сброс. Генератор перейдёт в режим «Готов к работе» |
1. Уставка может быть задана и изменена в любом состоянии ГВЧ
2. Если Pпад<0.9 Pуст — Pпад выделяется красным цветом. Если Pпад<0.75 Pуст — Pпад выделяется мигающим красным цветом. В иных случаях не выделяется.
3. Если Pотр>0,1 Pпад — Pотр выделяется красным цветом
4. Если Pотр>0,05 Pпад — Pотр выделяется жёлтым цветом
5. Если Pотр<0,05 Pпад — Pотр выделяется зелёным цветом
6. При аварии накала команда на включение накала отменяется. Выводится сообщение.
7. При аварии анода или сетки команда на включение анода отменяется. Выводится сообщение.
2.3. Мнемосхемы графического интерфейса
Рис. 2.3.1. Главная мнемосхема
Рис. 2.3.2. График давления в камере, логарифмическая шкала.
Рис. 2.3.3. Таблица мгновенных значений основных параметров.
2.4. БД проекта
БД проекта представлена в виде файлов БД SQLite, панель оператора:
- VacuumUnit/St.db - Основная БД проекта, содержит конфигурацию сбора данных, библиотеки и проект визуализации.
- VacuumUnit/OscadaLibs.db - Базовые библиотеки OpenSCADA.
- VacuumUnit/vcaBase.db - Библиотеки графических элементов OpenSCADA.
Архив файлов БД проекта можно загрузить здесь: 
file:vacuumunit.tlz
2.5. Оплата работы
Объём и трудоёмкость (чел.дни) работы:
- мнемосхема: 3
- экспорт с csv: 1
- общая конфигурация: 1+1
- график и журнал: 1
- дополнительные элементы на мнемосхеме: 1
- пусконаладка: 1+1
- разработка кадров формирования и исполнения рецептов: 4
Оплата работы:
- Разработка мнемосхемы:
+ 18.06.2011: 11928 руб (аванс)
+ 27.07.2011: 20000 руб (остаток)
- Разработка кадров формирования и исполнения рецептов:
+ 02.08.2011: 7840 руб (аванс)
+ 22.08.2011: 14700 руб (остаток)
- Некоторые расширения и доработка:
+ 15.09.2011: 9996 руб
- Создание мнемосхемы второй установки, сборка OpenSCADA для контроллера SMH2Gi (43106 руб)
+ 27.10.2011: 16284 руб (аванс)
+ 27.11.2011: 26822 руб (остаток)
- Реализация протокола SCU-750 (9270 руб)
+ 04.04.2012: 4900 руб (аванс)
+ 12.04.2012: 4370 руб (остаток)
- Реализация протокола TMH (TMP-xx03), (4900 руб)
+ 09.07.2012: 4900 руб
- Мероприятия по ТП
+ 20.07.2012: 3234 руб
- Ревизия движка рецепта и реализация новой концепции хранения и исполнения команд рецепта в контроллере логического уровня (9800 руб)
+ 23.08.2012: 4900 руб (аванс)
+ 31.08.2012: 4900 руб (остаток)
- Реализация интерфейсов и протоколов доступа к УСО контроллера Сегнетикс SMH2Gi (31456 руб)
- Создание инфраструктуры модуля: 0.5 ЧД
- SharedMemory: 1 ЧД
- Протокол МС/MR: 0.5+0.5+1+0.5+0.3+0.4+1+1 = 5.2 ЧД
Итого: 0.5 + 1 + 5.2 = 6.7 ЧД * 150$ = 1005$ * 31.3 = 31456 руб
+ 03.09.2012: 9800 руб (аванс)
+ 20.11.2012: 21656 (24500) руб (остаток)
- Мнемосхема установки вакуумного напыления НИКА-2012 (18240 руб)
- Ознакомление с ТЗ, получение БД, подготовка окружения, обновление OpenSCADA: 0.5 ЧД
- Формирование изображения МН: 1 ЧД
- Привязка и согласование динамики МН: 1 ЧД
Итого: 0.5+0.1+1+0.2+0.4+0.4+0.1+0.8+0.5 = 4 ЧД * 150$ = 600$ * 30.4 = 18240 руб
+ 23.11.2012: 7744 руб (аванс)
+ 29.12.2012: 4900 руб (остаток1)
Удалённое подключение:
- Станция АРМ: user:lodka123@10.81.0.40, через VPN (конфигурация вложена)
- Контроллер SMH2Gi: root:segnetics@192.168.1.213, через станцию АРМ